微量氧测量分析仪 QD-HO2M-I1
高精度氧分析仪表QD-HO2M（High-precision oxygen concentration measuring instrument）系列产品是基于氧化锆固态电解质测量原理的耐高温高精度微量氧分析仪表。适用于半导体载气氧浓度控制，实时测量（N₂/Ar/H₂）中ppb～ppm级氧，防止晶圆氧化、薄膜缺陷与器件失效，是Fab厂高纯气体与工艺腔室的关键监测仪表
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产品特点：
宽量程高精度检测：氧浓度测量范围0-1000ppm，支持拓展量程21%测量显示，测量精度达2%FS
超宽温域适配性：探头工作温度-40℃~930℃，控制器工作温度-40℃~105℃
多接口多功能拓展：集成GND、DAC、I/O、232、485、4-20mA、0-5V等丰富接线端子
双端协同管控：支持本地控制器操作与上位机远程管理，MODBUS485通信
高速采样速率：采样速率可达10Hz-2KHz可调
工作电压：24V
通讯接口：RS485 / RS232
工作温度：探头 -40℃~930℃，控制器 -40℃~105℃
模拟输出：2路4~20mA（0-1000ppm），2路0~5V（0-1000ppm）
通信协议：Modbus RTU
测量范围：0-1000ppm，超量程显示25%
测量精度：2%F.S
响应速度：T90<35s（气体压力0.2MPa，流量10L/min，空气到氮气切换）
外观结构：标准/定制，导轨安装
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