微量氧测量分析仪（半导体版）

高精度氧分析仪表QD-HO2M（High-precision oxygen concentration measuring instrument）系列产品是基于氧化锆固态电解质测量原理的耐高温高精度微量氧分析仪表。适用于半导体载气氧浓度控制，实时测量（N₂/Ar/H₂）中ppb～ppm级氧，防止晶圆氧化、薄膜缺陷与器件失效，是Fab厂高纯气体与工艺腔室的关键监测仪表。

• 工作电压：24V
• 通讯接口：RS485 / RS232
• 工作温度：探头 -40℃~930℃，控制器 -40℃~105℃
• 模拟输出：2路4~20mA，2路0~5V
• 通信协议：Modbus RTU
• 测量范围：0-1000ppm，超量程显示25%
• 测量精度：2%F.S
• 响应速度：T90<35s
• 外观结构：标准/定制，导轨安装