陶瓷热盘控制器采用基于TCR(电阻温度系数)的算法,直接利用加热器自身作为温度传感器进行测温与控温,使双温区热盘运行效率更高。内外温区闭环控制,有效提升热盘表面温度均匀性,支持EtherCAT®通信协议。
陶瓷热盘控制器采用基于TCR(电阻温度系数)的算法,直接利用加热器自身作为温度传感器进行测温与控温,通过调节输出功率,使双温区热盘运行效率更高。通过采集内外温区温度,可直观呈现边界条件变化;并采用闭环控制,支持更高工作温度,有效提升热盘表面温度均匀性。
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